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EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用
出频闪光,以便采集高速运动的MEMS器件在不同相位不同频率下的清晰图像,从而为后续MEMS器件运动特性的提取与分析做充分地准备。实验证明,此设计是行之有效的。
《EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用(第3页)》
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